山里産業株式会社
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製品・商品案内
製品・商品案内
熱電対
熱電対 熱電対
貴金属・卑金属線を用いて低温から超高温までの工業用温度計測に、広く使用されている温度センサです。一般工業用熱電対や爆発の危険場所に用いられる防爆形熱電対などさまざまな用途に応じた製品をひとつひとつ製造しています。
 
■シース熱電対(THERMIC)
■保護管形熱電対
■セラサーモ熱電対
■高温還元雰囲気用 TYPE "K"熱電対(AD-THERMIC)
■高温測定用熱電対 タングステン-レニウム
 
シース熱電対(THERMIC)

金属シースと熱電対素線間を高純度マグネシア粉末で堅く充填し気密状態にした絶縁性と高耐圧性をもったシース熱電対です。

また、適正な焼きなましにより熱電対の状態を損なうことなく曲げることができます。
シース熱電対の種類 K、E、J、T、N、R
シース外径 φ0.25 φ0.5 φ1.0 φ1.6 φ2.2 φ3.2 φ4.8 φ6.4 φ8.0
材質 SUS316L SUS310S INCONEL600
精度 JISクラス1 JISクラス2
対数 シングル ダブル
温接点 タイプT(接地型) タイプU(非接地型) タイプV(露出型)
* エレメント、シース外径等につきましても対応させていただきますのでご相談ください。


      THERMICシース熱電対の標準形式(MODEL:TM)

        TMB形 補償導線付     TMH形 密閉防滴端子箱付
     TMES(L)形 メタルコネクター付         TMN形 ねじ込み式
    TMDS(L)形 樹脂製コネクター付         TMNF形 フランジ式

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保護管形熱電対

    熱電対素線に絶縁管を取り付け、金属保護管や
セラミック製保護管などに組み込んだ一般的な
熱電対です。保護管および絶縁管には、使用
場所の条件を考慮した上で最適なものを選定
することが大切であり、測温技術の重要な
ポイントとなります。


熱電対の種類 K、E、J、T、N、R
線 径 φ0.32 φ0.5(Rタイプ)φ0.65 φ1.0 φ1.6 φ2.3 φ3.2
精 度 JISクラス1   JISクラス2


               保護管形熱電対の標準形式

TE12形 金属保護管付熱電対 TE22形 磁性保護管付熱電対
     (サポート式)
TE13形 金属保護管付熱電対
     (ねじ込み式)
TE23形 磁性保護管付熱電対
     (ねじ込み式)
TE14形 金属保護管付熱電対
     (フランジ式)
TE24形 磁性保護管付熱電対
      (フランジ式)



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セラサーモ熱電対
セラサーモ熱電対は熱電対素線にセラミック薄膜で絶縁することにより、作業性に難点のあった絶縁管や保護管を不要にし、細径化と軽量化を可能にした熱電対です。


  構  造

    


  特  長

1.作業性良好・・・・・・ 絶縁管の継ぎ目で捻れたり短絡しません。
2.省スペース・・・・・・・ 実質的には熱電対と同径です。
3.軽量・・・・・・・・・・・・ 実質的には熱電対と同重量です。
4.高可撓性・・・・・・・・ 絶縁管や保護管による制約がありません。
5.非ガス放出性・・・・      超高真空内で使用可能です。

  利用分野

半導体製造装置 基盤、ウエハーの温度分布測定
真空装置 各種蒸着装置、スパッタリング装置の基板温度測定
分析装置内の温度測定
製造装置(CVD装置、熱処理炉) 精密焼成炉、精密合成炉内の温度測定
熱電対素線の種類 タイプK
線径(代表例) φ0.1 φ0.2 φ0.32
※ 必要により温接点加工もお引き受けいたします。
※ 温接点加工および端末加工時はセラミックス皮膜除去を行なわないと正しい起電力を発生しないことがあります。


[ セラサーモ熱電対温接点加工付き ]
※ L寸法は、ご要望の寸法で製作いたします。
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ADサーミック


当社は、熱電対素線メーカーとの共同開発により  TYPE ”K” 熱電対素線の合金成分を調整し、従来の TYPE"K"熱電対の高温並びに還元雰囲気下での安定性を大きく改善しました。
 この開発した”K”熱電対素線を用いた新型TYPE”K”シース熱電対 【製品名:ADVANCED TYPE K THERMIC:AD-THERMIC】 の高温における安定性の社内評価試験を行い、当社の従来品と比べて良好なデータが得られました。AD-THERMICは、高温熱処理炉や還元雰囲気炉でのフィールド評価でも、従来品と比べて優れた評価結果が得られ、ご好評を頂いております。


特 長
※ 水素雰囲気、高温浸炭などの還元雰囲気下でのドリフトの改善
※ 高温連続使用における寿命延長



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高温測定用熱電対 タングステンーレニウム
高温測定用熱電対 タングステンーレニウム
近年目覚しい発展を遂げている高温熱処理炉や高温領域における実験・研究等での高温度測定の要求が高まるなか、山里産業はタングステン-レニウム(以下、W・Reと称す)熱電対を用いた温度センサを、産業界各分野に対し、広く紹介・供給をしてまいりました。
さて、これまではこのW・Re熱電対材料は、海外からの輸入に頼っておりましたが、このたび国内メーカーとの共同開発を行い、ASTM規格E988に準拠した熱電対材料として、販売を開始するに至りました。
[ タングステン-レニウム熱電対の一般特性 ]
W・Re熱電対の特徴は以下の通りであります。
● 白金系熱電対に比べ、熱起電力が大きく、また、リニアリティが良好で、かつ、高温域(2300℃)まで測定可能です。
● 白金系熱電対は、主に酸化・不活性雰囲気で使用されますが、W・Re熱電対は、還元性・不活性・真空・核環境下で使用できます。
[ 山里タングステン-レニウム熱電対の熱起電力特性 ]
山里W・Re熱電対の任意ロットについて熱起電力特性を調べた結果、図1及び図2に示すように初期における誤差及びドリフト量とも、従来の海外品より優れています。
山里タングステン-レニウム熱電対の熱起電力特性 山里タングステン-レニウム熱電対の熱起電力特性
NISTで校正されたW・Re熱電対を用いて
山里W・Re熱電対を比較校正。
1600℃のアルゴン雰囲気中で3時間、
10時間加熱した後、Cu凝固点(1084.62℃)
における誤差の変化量。
種 類
W・5%Re W・26%Re


融点℃※ 3375℃※ 3021℃※
比重 19.4 19.6
電気抵抗µ Ω・cm(30ºC) 12.6 28.8
線膨張係数(0〜100ºC) 4.6×10 -6 4.9×10 -6
比熱(30ºC) 0.131 0.132
※融点については、下記文献から引用。
ただし、W・26%Reの融点は記載されていなかったため、W・25%Reの値を代用。
引用文献:MONOGRAPH SERIES ON ALLOYPHASE DIAGRAMS 7
「Phase Diagrams of Binary Tungsten Alloys」THE INDIAN INSTITUTE of METALS
[ W・5%Re-W・26%Re熱電対 規準熱起電力表 ]
0℃ 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
0 0.000 0.135 0.273 0.413 0.555 0.699 0.846 0.994 1.145 1.297
100 1.451 1.608 1.766 1.926 2.087 2.251 2.415 2.582 2.750 2.919
200 3.090 3.262 3.436 3.610 3.786 3.963 4.141 4.321 4.501 4.682
300 4.865 5.048 5.232 5.417 5.603 5.789 5.976 6.164 6.353 6.542
400 6.732 6.922 7.113 7.305 7.497 7.689 7.882 8.075 8.269 8.463
500 8.657 8.851 9.046 9.241 9.436 9.631 9.827 10.022 10.218 10.413
600 10609 10.804 10.999 11.195 11.390 11.585 11.780 11.974 12.169 12.364
700 12.559 12.753 12.947 13.141 13.335 13.529 13.723 13.916 14.109 14.301
800 14.494 14.686 14.878 15.069 15.260 15.451 15.641 15.831 16.021 16.210
900 16.398 16.587 16.775 16.962 17.149 17.335 17.521 17.707 17.892 18.076
1000 18.260 18.444 18.627 18.809 18.991 19.172 19.353 19.533 19.713 19.892
1100 20.071 20.249 20.426 20.603 20.779 20.955 21.130 21.305 21.479 21.652
1200 21.825 21.997 22.169 22.340 22.510 22.680 22.849 23.018 23.186 23.353
1300 23.520 23.686 23.852 24.017 24.181 24.345 24.508 24.671 24.833 24.994
1400 25.155 25.315 25.475 25.633 25.792 25.949 26.107 26.263 26.419 26.574
1500 26.729 26.883 27.037 27.190 27.342 27.493 27.645 27.795 27.945 28.094
1600 28.243 28.391 28.538 28.685 28.831 28.977 29.122 29.266 29.410 29.553
1700 29.696 29.838 29.979 30.120 30.260 30.399 30.538 30.676 30.813 30.950
1800 31.087 31.222 31.357 31.491 31.625 31.758 31.890 32.022 32.153 32.283
1900 32.413 32.542 32.670 32.797 32.924 33.050 33.175 33.300 33.424 33.547
2000 33.669 33.791 33.911 34.031 34.151 34.269 34.387 34.503 34.619 34.734
2100 34.849 34.962 35.074 35.186 35.296 35.406 35.515 35.623 35.730 35.836
2200 35.940 36.044 36.147 36.249 36.350 36.449 36.548 36.645 36.742 36.837
2300 36.931 37.024                
(単位:mV) 温度に対する許容差: 0〜426℃: ±4.4℃
426〜2315℃: ±0.01 × t℃
引用規格:ASTM E988-1996
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